一、概述

少子寿命测试仪配备有红外光源，可测量包括硅块、硅棒、硅芯、检磷棒、检硼棒、籽晶、硅片等的少子寿命及锗单晶的少子寿命

二、技术指标

1、仪器测试精度：≤±0.5%；

2、可测少子寿命范围：0.1μs～7000μs；

3、测试电阻率范围：≥0.1Ωcm 可扩展到0.01Ωcm；

4、配备光源类型：波长：980±30nm；

5、高频振荡源：用石英谐振器，振荡频率：30MHz；

6、前置放大器：放大倍数约25，频宽2Hz～1MHz；

7、测量方式：采用对标准曲线读书方式。

 

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