一、概述

少子寿命测试仪配备有红外光源,可测量包括硅块、硅棒、硅芯、检磷棒、检硼棒、籽晶、硅片等的少子寿命及锗单晶的少子寿命

二、技术指标

1、仪器测试精度:≤±0.5%;

2、可测少子寿命范围:0.1μs~7000μs;

3、测试电阻率范围:≥0.1Ωcm 可扩展到0.01Ωcm;

4、配备光源类型:波长:980±30nm;

5、高频振荡源:用石英谐振器,振荡频率:30MHz;

6、前置放大器:放大倍数约25,频宽2Hz~1MHz;

7、测量方式:采用对标准曲线读书方式。

 

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