一、概述

数字式四探针测试仪是半导体材料的电阻性能测量设备。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

二、技术指标

1、测量范围：电 阻 率：0.0001～2000Ωcm（可扩展）；

                     电 导 率：0.0005～10000s/cm；

                   方块电阻：0.001～20000Ω（可扩展）；

                      电    阻：0.0001～2000Ωcm。

2、模拟电阻测量相对误差（按JJG508-87进行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1。

3、可测晶片直径：140mm×150mm；200mm×200mm；400mm×500mm。

4、恒流源：电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调。