一、概述

数字式四探针测试仪是半导体材料的电阻性能测量设备。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。

二、技术指标

1、测量范围:电 阻 率:0.0001~2000Ωcm(可扩展);

                     电 导 率:0.0005~10000s/cm;

                   方块电阻:0.001~20000Ω(可扩展);

                      电    阻:0.0001~2000Ωcm。

2、模拟电阻测量相对误差(按JJG508-87进行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1。

3、可测晶片直径:140mm×150mm;200mm×200mm;400mm×500mm。

4、恒流源:电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调。

 

 

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